@book { OptimierungderPlasmaparameterzurAbscheidungvonkubischemBornitridinHohlkatodenbogen,
    title = "Optimierung der Plasmaparameter zur Abscheidung von kubischem Bornitrid in Hohlkatodenbogen",
    author = "Jochen {Ulmer}",
    year = "1999",
    publisher = "Diplom.de",
    address = "Hamburg, Deutschland",
    doi = "10.3239/9783832417376",
    url = "https://m.diplom.de/document/217604"
}